高效送風口，F(xiàn)FU，層流罩都是用在無塵室里面的設備，作用都是過濾空氣中的塵埃粒子，以達到生產(chǎn)制成對潔凈度的要求。

根據(jù)送風的方式，使用位置的不同，造成產(chǎn)品本身的結構也不一樣。高效送風口，分為送風箱及高效濾網(wǎng)，本身不具備動力，不能自己送風到無塵室。高效送風口，上面或側面，會有“入風口”，“入風口”經(jīng)風管與MAU空調箱連接，風從空調送出，經(jīng)風管送進送風箱，經(jīng)高效濾網(wǎng)過濾，再送進無塵室。使用位置位于無塵室頂部，用于亂流型無塵室，成本相對較高。FFU的中文是“風機過濾單元”，分成兩部分，風機及高效濾網(wǎng)。相對高效送風口來說，F(xiàn)FU自帶電機，通過電機帶動葉輪達到送風的目的，使用位置位于無塵室頂部，用于層流型無塵室，成本相對較高。

層流罩，工作原理和FFU一樣，也通過電機帶動葉輪達到送風的目的。但是一般在現(xiàn)有無塵室無法滿足生產(chǎn)制成潔凈度要求或送風型式要求時（亂流改層流），(全部改造成本較高，只有滿足局部需求即可)，才采用的層流罩，已達到制成要求